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中国苏州MEMS微纳制造、传感器展2025展商名单
MEMS 器件:光学MEMS;射频MEMS;MEMS物理传感器(加速传感器,速率传感器,压力传感器,气体传感器,温度传感器);微 射流(微流引导,微感应器等);MEMS执行器;MEMS电能(燃料电池,微发电机等);高复合型MEMS(CMOS/MEMSLSI/MEMS 一体化)。
MEMS 代工服务:仿真设计、原型测试、产品开发、量产;其他代工服务:图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀。
MEMS 应用:产品 (麦克风,显示等);超微型机械人装置、微型工厂等;传感器网络;能量收集。
MEMS 加工设备:薄膜成形(汽相淀积、溅射、CVD、覆镀;曝光系统、蚀刻技术;防腐处理;刻蚀;晶圆键合;切割;芯片1导线焊接;封装;微成形(注射,热压);其他生产设备。
分析与检测仪器:光量缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统;显微镜:光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪;检漏仪器、静电负离子空气净化机;气体分析及检测、分析和测量系统。
纳米机械微制程技术:超精度纳米机械工艺;超精密加工,微制造;表面微加工;精细钻孔;微观切割;雷射、离子脉冲加工;聚焦离子束系统;微放电加工;超声波设备等。
材料:压电薄膜材料(ZnO,AIN,PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料;碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材
料、铁电性材料。
纳米压印技术:微纳米模型;纳米压印生产设备。
生物技术与医疗应用:MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊;尖端DNA& RNA 技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS(DNARNA技术,化学检测)等。
参考资料:
China MEMS Manufacturing Conference
举办地区:江苏
开闭馆时间:09:00-17:00
举办地址:苏州市苏州工业园区苏州大道东688号
举办展馆:A馆、B馆、C馆
展览面积:20000㎡
观众数量:15000
举办周期:1年1届
主办单位:中国半导体行业协会MEMS分会
传感器行业资讯
2025-08-21 13:25:5458