推荐 第15届 中国苏州MEMS微纳制造、传感器展

China MEMS Manufacturing Conference

MEMS 器件：光学MEMS;射频MEMS;MEMS物理传感器(加速传感器，速率传感器，压力传感器，气体传感器，温度传感器);微 射流(微流引导，微感应器等);MEMS执行器;MEMS电能(燃料电池，微发电机等);高复合型MEMS(CMOS/MEMSLSI/MEMS 一体化)。

MEMS 代工服务：仿真设计、原型测试、产品开发、量产;其他代工服务:图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀。

MEMS 应用：产品 (麦克风,显示等);超微型机械人装置、微型工厂等;传感器网络;能量收集。

MEMS 加工设备：薄膜成形(汽相淀积、溅射、CVD、覆镀;曝光系统、蚀刻技术;防腐处理;刻蚀;晶圆键合;切割;芯片1导线焊接;封装;微成形(注射，热压);其他生产设备。

分析与检测仪器：光量缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统;显微镜:光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪;检漏仪器、静电负离子空气净化机;气体分析及检测、分析和测量系统。

纳米机械微制程技术：超精度纳米机械工艺;超精密加工,微制造;表面微加工;精细钻孔;微观切割;雷射、离子脉冲加工;聚焦离子束系统;微放电加工;超声波设备等。

材料：压电薄膜材料(ZnO,AIN,PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料;碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷;LTCC 基板Glass substrate、SiC;磁性材

料、铁电性材料。

纳米压印技术：微纳米模型;纳米压印生产设备。

生物技术与医疗应用：MEMS 在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊;尖端DNA& RNA 技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS(DNARNA技术，化学检测)等。